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      技術文章

      接觸角測量儀阿莎算法及其*性

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        接觸角測量儀是界面化學領域用于測試并評估固體以及固液界面物理化學性質的基礎儀器,自1946年zisman教授團隊發明以來,歷經多年發展,長期以來停留在量角器階段。隨著計算機技術的發展,過程中有日本、德國、美國的儀器廠商實現了量角器的簡單量角、WH法向圓和橢圓階段的發展,但其仍不改變其數碼量角器的本質。自1983年A.W.Neumann教授團隊提出ADSA-P算法以來,接觸角的測量真正進入了界面化學的測量階段,其標志性體現為將表面張力、接觸角、界面張力以及重力、浮力等綜合參與運算分析并得出表面張力和接觸角值。與此同時,接觸角測量儀商業化的儀器中出現了兩個其他的代表,如Henson團隊和SongbiHai團隊(德系儀器)的基于Select plane算法的Young-Laplace方程擬合算法。但無論是ADSA-P算法還是Young-Laplace方程擬合算法,其均存在軸對稱假設,應用于表面張力或界面張力等軸對稱條件下的測量則沒有問題,但運用于接觸角測量由于如下兩個原因形成的非軸對稱性測量則顯然是不可靠的。
       
        1、樣品上表面本身的水平度不好,由于重力作用導致左、右接觸角不一致;
       
        2、樣品本身的粗糙度、化學多樣性、異構性等原因導致的接觸角左、右不一致。
       
        由于接觸角評估的重要性,需要提出更為可靠的接觸角測量新技術或算法。
       
        過程中,雖然美國科諾提出了真實液滴法(RealDrop)、雙圓切線法以及雙橢圓切線法(微分算法)等擬合圖像的算,但是,這些算法仍以簡單的圖像幾何測量為基礎,在測值時受液滴量、圖像的局部輪廓以及重力、表面張力影響,測值精度與可靠性均存在較大缺陷。
       
        阿莎算法(ADSA-RealDrop)算法基于整體輪廓Young-Laplace曲線,擬合整體輪廓的左、右不同角度值,其顯著特征為測值結果中顯示出左、右兩個不同的角度值,從而為真正意義上的固體材料物理化學性質的測量提供了一個為可靠的工具,是界面化學測量領域的一個里程碑意義的突破。
       
        從技術特征來講,阿莎算法可以實現單圖像多液滴的同時分析測量,從而將接觸角測量從2D真正進化到3D時空。目前3D接觸角的測量可以為界面化學測量,材料物理化學性質表征,材料表面清潔度測量等各種應用提供為科學、專業的工具。
       
        阿莎算法和3D接觸角測量儀可以真正解決:
       
        1、單液滴即可以判斷出如芯片、晶圓、wafer、LED、LCD表面等離子清洗后(PLASMA)的效果;
       
        2、是目前為止解決接觸角滯后現象(表面粗糙度、化學多樣性、異構性)的為科學、合理的測值解決方案;
       
        3、是目前為止接觸角測量為科學的表征方法。慣常的前進角、后退角以及滾動角的測值方案無法用于準確描述材料本身的性質,而3D接觸角測量則可以為表征接觸角滯后提供一個全新的思維。
       
        4、全面提升了接觸角測量的精度。以往的所有算法中或受局部測點影響(如select plane法受局部選點或面處的參數影響,切線法受接觸線位置噪聲影響、橢圓及圓擬合受整體輪廓軸對稱影響),在測值精度上均無法保證。而阿莎算法則*基本真實液滴輪廓并運用Young-Laplace方程進行擬合分析,因而,在算法而言,阿莎算法是接觸角或水滴角測量的必然之選。

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